光刻机是生产大规模集成电路(芯片)的核心设备,“浸没式光刻”是一种通过在光刻胶和投影物镜之间加入浸没液体,从而减小曝光波长提高分辨率的技术。如图所示,若浸没液体的折射率为1.40,当不加液体时光刻胶的曝光波长为193nm;加上液体后,光在液体中的传播速度为 2.14×1082.14×108m/s,波长变为 138138nm。(光在真空中的传播速度c=3.0×108m/s,计算结果均保留三位有效数字)
【答案】2.14×108;138
【解答】
【点评】
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发布:2024/6/27 10:35:59组卷:25引用:4难度:0.8
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