硅（Si）是一种重要的半导体材料，应用范围很广。三氯甲硅烷（SiHCl3）还原法是当前制备高纯硅的主要方法，生产过程如图所示：
（1）硅属于 非金属非金属（填“金属”或“非金属”）元素；
（2）写出上述流程中一种氧化物的化学式 SiO2（或CO）SiO2（或CO）；
（3）上述流程中①、④反应的化学方程式为 SiO2+2C 高温 Si+2CO↑SiO2+2C 高温 Si+2CO↑； SiHCl3+H2 高温 Si+3HClSiHCl3+H2 高温 Si+3HCl。①和④反应中 CC、H2H2都具有还原性；
（4）如果还原SiHCl3过程中混入O2，可能引起的后果是 爆炸爆炸；
（5）该流程中可以循环利用的物质的化学式是 HClHCl。
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【答案】非金属；SiO2（或CO）；SiO2+2C Si+2CO↑；SiHCl3+H2 Si+3HCl；C；H2；爆炸；HCl
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【解答】
【点评】
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