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芯片是国家科技的心脏。在硅及其化合物上进行蚀刻是芯片制造中非常重要的环节。三氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)是常见的蚀刻剂。
(1)高纯三氟化氮对二氧化硅具有优异的蚀刻速率和选择性。
①二氧化硅的晶胞结构如图-1所示,二氧化硅晶体中硅原子周围最近的硅原子有
4
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个。

②工业上常采用F2直接氟化尿素[CO(NH22]的方法生产NF3,得到的NF3中常含有少量CF4,常温下,三种物质在水中的溶解性大小顺序为:CF4<NF3<NH3,原因是
CF4是非极性分子,NF3、NH3均为极性分子,但NH3的极性比NF3大,且NH3更易与水形成分子间氢键
CF4是非极性分子,NF3、NH3均为极性分子,但NH3的极性比NF3大,且NH3更易与水形成分子间氢键

(2)四氟化碳的一种蚀刻机理是:CF4在等离子体的条件下产生活性自由基(▪F),该自由基易与硅及其化合物中的硅原子结合生成SiF4气体从而达到蚀刻目的。用CF4(g)进行蚀刻时常与氧气混合,当混合气体的流速分别为80mL•min-1和100mL•min-1时,蚀刻速率随混合气体中O2和CF4体积之比[V(O2)/V(CF4)]的变化如图-2所示。
①a点蚀刻速率比b点快的原因是
a点产生活性自由基(▪F)的浓度大
a点产生活性自由基(▪F)的浓度大

②蚀刻速率随V(O2)/V(CF4)先升高后降低的原因是
O2与CF4中的C元素反应生成CO(或CO2),O2的体积分数增大,有利于产生更高浓度的活性自由基(▪F);随着O2体积分数的继续增加,CF4的含量减小,产生活性自由基(▪F)的浓度减小
O2与CF4中的C元素反应生成CO(或CO2),O2的体积分数增大,有利于产生更高浓度的活性自由基(▪F);随着O2体积分数的继续增加,CF4的含量减小,产生活性自由基(▪F)的浓度减小

(3)NF3是一种强温室气体,消除大气中的 NF3对于环境保护具有重要意义。国内某科研团队研究了利用氢自由基(•H)的脱氟反应实现NF3的降解。降解生成•NF2和HF的两种反应历程如图-3所示。其中直接抽提反应是降解的主要历程,原因是
直接抽提反应的活化能小,反应步骤少
直接抽提反应的活化能小,反应步骤少

【考点】晶胞的计算
【答案】4;CF4是非极性分子,NF3、NH3均为极性分子,但NH3的极性比NF3大,且NH3更易与水形成分子间氢键;a点产生活性自由基(▪F)的浓度大;O2与CF4中的C元素反应生成CO(或CO2),O2的体积分数增大,有利于产生更高浓度的活性自由基(▪F);随着O2体积分数的继续增加,CF4的含量减小,产生活性自由基(▪F)的浓度减小;直接抽提反应的活化能小,反应步骤少
【解答】
【点评】
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发布:2024/4/20 14:35:0组卷:34引用:1难度:0.6
相似题
  • 1.铁及其化合物在生产生活及科学研究方面应用非常广泛。
    (1)基态Fe原子的价层电子的电子排布图为
     
    ;其最外层电子的电子云形状为
     

    (2)(NH42Fe(SO42•6H2O俗称摩尔盐
    ①NH4+电子式为
     

    ②N、O两元素的第一电离能由大到小的顺序为
     
    (用元素符号表示)
    ③SO42-中S原子的杂化方式为
     
    ,VSEPR模型名称为
     

    (3)K3[Fe(CN)6]晶体中中心原子的配位数为
     
    ;晶体的配位体为
     
    (用化学符号表示)
    (4)FeS2晶体的晶胞如图(c)所示。晶胞边长为a nm、FeS2相对式量为M,阿伏加德罗常数的值为NA,其晶体密度的计算表达式为
     
    g•cm-3

    发布:2025/1/5 8:0:1组卷:7引用:1难度:0.7
  • 2.碳及其化合物有着重要用途。回答下列问题:
    (1)基态碳原子的价层电子排布图为
     

    (2)在CH2=CHCN中,碳原子的杂化方式有
     
     
    ,所含σ键数目和π键数目之比为
     

    (3)甲烷、水、氨气中C、O、N原子均采用sp3杂化方式,VSEPR模型均为正四面体构型,比较三者键角的大小
     
    (由大到小,用H一R-H表示),其原因是
     

    (4)C60室温下为紫红色固体,不溶于水,能溶于四氯化碳等非极性溶剂。据此判断C60的晶体类型是
     

    (5)C60晶胞结构如图,C60分子处于顶点和面心。已知:C60晶胞棱长为14.20Å (1Å=10-8cm),则C60的晶体密度为
     
    g/cm3
    C60体中存在正四面体空隙(例如1、3、6、7四点构成)和正八面体空隙(例如3、6、7、8、9、12六点构成),则平均每一个C60晶胞中有
     
    个正四面体空隙和4个正八面体空隙。当碱金属元素全部占满所有空隙后,这类C60掺杂物才具有超导性。若用金属铯(Cs)填满所有空隙,距离最近的两个Cs原子间的距离为
     
     Å。

    发布:2025/1/5 8:0:1组卷:53引用:2难度:0.4
  • 3.A、B、C、D、E、F是元素周期表中前四周期元素,且原子序数依次增大,其相关信息如下:
    ①A的周期序数等于其主族序数;
    ②B、D原子的L层中都有两个未成对电子;
    ③E元素原子最外层电子排布式为(n+1)Sn(n+1)Pn-1
    ④F原子有四个能层,K、L、M全充满,最外层只有一个电子.
    试回答下列问题:
    (1)基态E原子中,电子占据的最高能层符号为
     
    ,F的价层电子排布式为
     

    (2)B、C、D的电负性由大到小的顺序为
     
    (用元素符号填写),C与A形成的分子CA3的VSEPR模型为
     

    (3)B和D分别与A形成的化合物的稳定性:BA4小于A2D,原因是
     

    (4)以E、F的单质为电极,组成如图1所示的装置,E极的电极反应式为
     

    (5)向盛有F的硫酸盐FSO4的试管里逐滴加入氨水,首先出现蓝色沉淀,继续滴加氨水,蓝色沉淀溶解,得到深蓝色溶液,再向深蓝色透明溶液中加入乙醇,析出深蓝色晶体.蓝色沉淀溶解的离子方程式为
     

    (6)F的晶胞结构(面心立方)如图2所示:已知两个最近的F的距离为acm,F的密度为
     
    g/cm3(阿伏加德罗常数用NA表示,F的相对原子质量用M表示)

    发布:2025/1/18 8:0:1组卷:14引用:2难度:0.5
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